1.1.1 等离子发生器等离子定义什么是等离子发生器等离子？最初的定义是物质的聚合状态，干法刻蚀 工艺设备它包含足够的正电荷和负电荷，使带电粒子的数量大致相等。当然，固体和液体等离子体也包括在这个定义中。晶格中阳离子和自由电子的结合，或者半导体中电子和空穴的结合，就是固体等离子体。电解质中正负离子的
